真空泵維修是一門修復技術。由于真空泵在時間運轉時，部分零部件由于磨擦，內外力的作用致使真空泵的工作效率降低或者真空泵停止，這時就需要對磨損或者斷裂的零部件進行修復更換。再者對精度要求較高的缸體，轉子進行修復以達到提高真空泵效率，提高真空泵性能的要求，這些步驟都是真空泵維修技術總體體現。
真空泵維修中常用的幾種方法
一、鏜缸
鏜缸是干式泵常見的一直維修方法。主要針對缸套過度磨損的現象進行的。
鏜缸主要分為以下步驟：
粗鏜--留精鏜加工余量為0.10mm
精鏜--留珩磨余量為0.03mm
珩磨--達到規定尺寸及表面粗糙度
清洗--將缸體仔細清潔，然后將配對的活塞放進氣缸中推行檢查配合情況，最后將氣缸內涂潤滑油防銹
二、泵體的清洗
這里主要介紹油式真空泵的清洗過程，大家看到清洗兩字可能認為這是一個簡單的一個步驟，其實這步驟看似簡單，但是非常重要的一個過程。一般廠商為了減少成本，只是把油箱跟泵頭用汽油或者水進行沖洗便結束。實際上這樣遠遠不夠的，油式真空泵長時間在高溫狀態下運轉會導致真空泵油乳化、碳化，形成稠狀物質附著在油箱及泵頭中，不及時處理就會殘留在真空泵中而影響維修后的性能及壽命。所以，要解決這種問題必須在超聲波清洗后，用專用清洗劑進行清洗。
三、零件更換
對原有受損或者斷裂的零部件進行更換。這個過程零部件的精度相對重要，選用零部件需要符合泵體裝配的精度，防止零件裝配后產生異常。
導致真空泵出現故障，很多時候是因為日常使用不當而造成的，所以真空泵的日常操作及保養相當重要。
可維修范圍：ALCATEL阿爾卡特真空泵、BUSCH普旭真空泵、Becker貝克真空泵、里其品牌都可以樂真空泵、Pfeiffer普發真空泵、Leybold萊寶真空泵、Edwards愛德華真空泵、ULVAC愛發科真空泵、Orion好利旺，EBARA荏原真空泵等。
